土壤無機污染物中以重金屬比較突出，主要是由于重金屬不能為土壤微生物所分解，而易于積累，轉化為毒性更大的甲基化合物，甚至有的通過食物鏈以有害濃度在人體內蓄積，嚴重危害人體健康。污染土壤重金屬元素主要有汞、鎘、鉛、銅、鉻、鎳、鋅等，砷因其行為與來源以及危害都與重金屬相似，故通常也列入重金屬類進行討論。重金屬污染主要表現在水污染中，還有一部分是在大氣和固體廢物中。重金屬原義是指比重大于5的金屬（密度大于4.5克每立方厘米的金屬），包括金、銀、銅、鐵、鉛等。重金屬污染與其他有機化合物的污染不同。不少有機化合物可以通過自然界本身物理的、化學的或生物的凈化，使有害性降低或解除。而重金屬具有富集性，很難在環境中降解。
便攜式XRF土壤分析儀實現了快速、準確分析土壤中的有害金屬元素Pb（鉛），As（砷），Cd（鎘），Hg（汞），Cu（銅），Ni（鎳），Zn（鋅），Cr（鉻）等，能夠實時現場對廠區、礦區、重工業區周邊的環境進行監測，從而進行控制排放和污染治理。
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